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    1. 技術參數

      刻蝕物 硅、氮化物刻蝕 二氧化硅刻蝕 金屬/合金刻蝕
      晶片尺寸 3-6″ 3-6″ 6-8″
      工藝控制 單片工藝,閉環控制 單片工藝,閉環控制 單片工藝,閉環控制
      優勢 支持客戶定制 支持客戶定制 支持客戶定制
      美国一级片